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  • 单极脉冲偏压电源
  • 产品特性:

    特点:高频逆变方式,使用工艺范围宽,能有效改善膜层质量,降低温升,细化颗粒,增加附着力,提高沉积速率改善膜层均匀性。485通讯。

  • 产品描述
  • 应用领域

    特点:高频逆变方式,使用工艺范围宽,能有效改善膜层质量,降低温升,细化颗粒,增加附着力,提高沉积速率改善膜层均匀性。485通讯。

    电源配置:
    1、标准配置:电源1台 3米输入电源线一根
    2、选装配置:互锁保护装置一组