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  • 中频交流磁控溅射电源
  • 产品特性:

    特点:中频交流磁控溅射电源能在充分满足电源工作的基础上实现合理而快速的灭弧功能;具备完善的欠压、过压、过载和过热等保护及显示功能;该电源支持双靶工作,可溅射非导电靶材,增加离化率有效克服靶中毒及异常放电。

  • 产品描述
  • 应用领域

    特点:中频交流磁控溅射电源能在充分满足电源工作的基础上实现合理而快速的灭弧功能;具备完善的欠压、过压、过载和过热等保护及显示功能;该电源支持双靶工作,可溅射非导电靶材,增加离化率有效克服靶中毒及异常放电。


    电源配置:
    1、标准配置:电源1台
    2、选装配置:3米输入电源线一根    互锁保护装置一组